Furnace Grade

Furnace Grade 웨이퍼는 매우 엄격하게 콘트롤된 전기적 특성을 가지고 있으며 주로 고온의 어플리케이션이나 박막 필름 적층에 이용되고 있습니다. 이 웨이퍼는 매우 엄격하게 관리된 산소 농도, 비저항 및 RRG(비저항 편차) 및 탄소 농도 특성을 가지고 있으며 부분별 도핑 농도 차이가 거의 없습니다. 이러한 특성들이 슬립이나 응력에 기인한 fracture 발생을 방지하여 매우 균일한 박막층을 형성 시키는데 도움을 주게 됩니다.

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