Mechanical Grade

Mechanical Grade 웨이퍼는 어느 사이즈의 웨이퍼에도 적용될 수 있으나 주로 300mm 웨이퍼의 등급을 나타내는 용어입니다. 이 제품은 한편으로 handling 웨이퍼를 뜻하기도 하며 다른 그레이드의 웨이퍼처럼 엄격한 규격이 적용된 제품은 아닙니다.

현재 SVM이 공급하고 있는 일부 제품의 규격을 아래 리스트에서 보실 수 있으며 추가적인 문의 사항이 있으실 경우 당사로 문의해 주시기 바랍니다.

Diameter: 300 +/- 0.5 mm
Type/Dopant: P/Boron
Orientation: {100} +/- 1
Growth Method: Cz
Resistivity: 1-100 Ω-cm
Thickness: 750-800 μm
Front Surface: Polished
Back Surface: Polished
Notch: SEMI Standard

Diameter: 300 +/- 0.5 mm
Type/Dopant: P/Boron
Orientation: {100} +/- 1
Growth Method: Cz
Resistivity: 1-100 Ω-cm
Thickness: 750-800 μm
TTV: <=2 μm
Front Surface: Polished
Particle Count: <=100@>=0.2 μm
Back Surface: Polished
Notch: SEMI Standard